Phoenix Nanotom M
推动微电子领域研发创新

项目背景
法国某微电子研究平台由全球领先的半导体制造商、国防科技公司和多家研究机构组成,致力于通过合作与前沿技术推动微电子领域的研发与创新。
挑战
该平台需要一套高分辨率CT系统用于微电子研发和失效分析,以提升其研究能力,优化微电子设计与性能。关键需求:技术性能与成本效益的最佳组合。
解决方案
经过全面评估,平台最终选择维睿泰的Phoenix Nanotom M高性能CT系统,主要基于以下优势:
- 高分辨率:适用于分析具有复杂结构的微电子产品
- 高性价比:在技术价值和成本效益方面优于其他解决方案
- 技术支持:基于双方长期建立的信任与合作关系

成果与影响
Phoenix Nanotom M的投入使用使该研究平台成为微电子CT成像领域的先驱:
- 提升失效分析能力,精确定位缺陷
- 推动微电子设计领域的先进研发,促进产学研合作
- 为未来新项目和合作伙伴关系创造更多可能性
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